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    產(chǎn)品展示
      首頁 >>> 產(chǎn)品展示 >>> 萊寶 >>> 萊寶真空計 >>> LEYSPEC view 100萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100
    產(chǎn)品名稱: 萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100
    產(chǎn)品時間: 2019-01-21
    產(chǎn)品型號: LEYSPEC view 100
    產(chǎn)品特點: LEYSPEC view 100 殘余氣體分析儀RGA
    秉承萊寶Phoenix氦質(zhì)普檢漏儀精準(zhǔn)、穩(wěn)定、長使用壽命等優(yōu)點,萊寶真空2018年12月全新推出LEYSPEC系列RGA殘余氣體分析儀,為半導(dǎo)體 、鍍膜、冷凍干燥、熱處理及科研等行業(yè)提供了更多的過程控制分析診斷支持.萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100

    萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100 的詳細(xì)介紹

    LEYSPEC view 100 殘余氣體分析儀RGA

    秉承萊寶Phoenix氦質(zhì)普檢漏儀精準(zhǔn)、穩(wěn)定、長使用壽命等優(yōu)點,萊寶真空2018年12月全新推出LEYSPEC系列RGA殘余氣體分析儀,為半導(dǎo)體 、鍍膜、冷凍干燥、熱處理及科研等行業(yè)提供了更多的過程控制分析診斷支持.萊寶LEYSPEC殘余氣體分析儀RGA的典型用途:檢漏判斷真空品質(zhì)檢測工藝氣體提高品質(zhì)和良品率故障診斷分析判斷低溫泵再生周期產(chǎn)品類別   產(chǎn)品系列分別提供了100、200、300原子質(zhì)量單位的解決方案。
    LEYSPEC view 100殘余氣體分析儀RGA

    秉承萊寶Phoenix氦質(zhì)普檢漏儀精準(zhǔn)、穩(wěn)定、長使用壽命等優(yōu)點,萊寶真空2018年12月全新推出LEYSPEC系列RGA殘余氣體分析儀,為半導(dǎo)體 、鍍膜、冷凍干燥、熱處理及科研等行業(yè)提供了更多的過程控制分析診斷支持.

    萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100

    RGA2.jpg

    真空系統(tǒng)泄漏示意圖-安博元

    image.png


    萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100

    萊寶LEYSPEC殘余氣體分析儀RGA的典型用途:

    • 檢漏

    • 判斷真空品質(zhì)

    • 檢測工藝氣體

    • 提高品質(zhì)和良品率

    • 故障診斷分析

    • 判斷低溫泵再生周期

     

    產(chǎn)品類別

       產(chǎn)品系列分別提供了100、200、300原子質(zhì)量單位的解決方案。

    • LEYSPEC view版特別適用于高真空設(shè)備,科研、環(huán)境氣氛檢測及追蹤中的殘余氣體分析。

    • LEYSPEC ultra版用于復(fù)雜的殘余氣體分析,靈敏度高,耐烘烤溫度高,可檢分壓低。

      萊寶LEYSPEC殘余氣體分析儀RGA 客戶受益:

    • 過程可控

    • LEYSPEC自帶數(shù)顯,易于現(xiàn)場管理

    • 贈送軟件易于使用及分析并有報警功能

       

    •  

      image.png

     

    萊寶LEYSPEC殘余氣體分析儀RGA的典型應(yīng)用:

    • 半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備

    • 鍍膜、顯示行業(yè)

    • 真空熱處理

    • 真空干燥

    • 研發(fā)

    • 蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100  view 200

    • 常熟鎮(zhèn)江常州揚(yáng)州泰州南通南京啟萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100  view 200

    • 東海門如皋海門海安如東宿遷徐州萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100  view 200

    • 合肥蕪湖杭州湖州溫州臺州衢州紹興萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100  view 200

    • 金華寧波余姚福州廈門泉州深圳廣州萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100  view 200

    • 珠海廣州惠州通州桂林南寧南昌贛州萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100  view 200

    • 武漢成都重慶荊州太原蘭州烏魯木齊萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100  view 200

    • 石家莊天津長春吉林濟(jì)南青島威海萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100  view 200

    • 德州連云港昆明九江安慶萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100  view 200

     

    Leybold Name

    LEYSPEC view 100

    LEYSPEC view 100S

    LEYSPEC view 200

    LEYSPEC view 200S

    LEYSPEC ultra 200S

    LEYSPEC ultra 300S

    Mass Range (amu)

    1-100

    1-100

    1-200

    1-200

    1-200

    1-300

    Mass filter type

    QMS

    QMS

    QMS

    QMS

    QMS

    QMS

    detector type

    Faraday   cup

    EM/Faraday   Cup

    Faraday   cup

    EM/Faraday   Cup

    EM/Faraday   Cup

    EM/Faraday   Cup

    Sensitivity (A/mbar)

    1x10-5

    400/1x10-5

    1x10-5

    400/1x10-5

    400/2.5x10-4

    400/2.5x10-4

    Minimum detectable 
        partial pressure (mbar)

    1x10-10

    1x10-14

    1x10-10

    1x10-14

    1x10-11

    1x10-12

    Max operating pressure (mbar)

    1x10-4

    1x10-4

    1x10-4

    1x10-4

    1x10-4

    1x10-4

    Filament material

    Ir/Y2O3

    Ir/Y2O3

    Ir/Y2O3

    Ir/Y2O3

    Ir/Y2O3

    Ir/Y2O3

    operating temp (°C)

    10-40

    10-40

    10-40

    10-40

    10-40

    10-40

    Max sensing temp (°C)

    120

    120

    120

    120

    250

    250

    Max. bake out temp (elec. removed) (°C)

    250

    250

    250

    250

    300

    300

    connection flange

    DN40CF

    DN40CF

    DN40CF

    DN40CF

    DN40CF

    DN40CF

    Power input

    DC24V   +-10% 50W

    DC24V   +-10% 50W

    DC24V   +-10% 50W

    DC24V   +-10% 50W

    DC24V   +-10% 50W

    DC24V   +-10% 50W

    Weight (kg)

    2,6

    2,84

    2,6

    2,84

    3,21

    3,21

    IP

    30

    30

    30

    30

    30

    30

    Serial communication

    RS232C/RS485

    RS232C/RS485

    RS232C/RS485

    RS232C/RS485

    RS232C/RS485

    RS232C/RS485

    Software

    ECA

    ECA

    ECA

    ECA

    ECA

    ECA

    Resolution

    M/DeltaM=1M(10%PH)

    M/DeltaM=1M(10%PH)

    M/DeltaM=1M(10%PH)

    M/DeltaM=1M(10%PH)

    M/DeltaM=1M(10%PH)

    M/DeltaM=1M(10%PH)

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