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    產(chǎn)品名稱: 英國愛德華STP1003 渦輪分子真空泵維修
    產(chǎn)品時(shí)間: 2019-04-21
    產(chǎn)品型號(hào): STP1003 STP1003C
    產(chǎn)品特點(diǎn): Edwards STP1003 是新型的渦輪分子泵,可用于良好的半導(dǎo)體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子技術(shù)可實(shí)現(xiàn)的性能,大的制程靈活性。這種泵已經(jīng)由半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用,并得到了認(rèn)可。英國愛德華STP1003 渦輪分子真空泵維修

    英國愛德華STP1003 渦輪分子真空泵維修 的詳細(xì)介紹

    英國愛德華STP1003 、STP1003C DN200CF 進(jìn)氣口

    概述

    Edwards STP1003 是新型的渦輪分子泵,可用于良好的半導(dǎo)體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子技術(shù)可實(shí)現(xiàn)的性能,大的制程靈活性。這種泵已經(jīng)由半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用,并得到了認(rèn)可。英國愛德華STP1003 渦輪分子真空泵維修

    應(yīng)用

    • 金屬(鋁)、鎢和電介質(zhì)(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)
    • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
    • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
    • 濺射
    • 離子注入源,射束線泵送端點(diǎn)站
    • MBE
    • 擴(kuò)散
    • 光致抗蝕劑脫模
    • 晶體/晶膜生長
    • 晶片檢查
    • 負(fù)載鎖真空腔
    • 科學(xué)儀器:表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
    • 高能物理:射束線、加速器
    • 放射線應(yīng)用:融合系統(tǒng)、回旋

      功能和優(yōu)勢

      良好的轉(zhuǎn)子技術(shù)  

    • 大的制程靈活性

    • 無油

    • 低振動(dòng)

    • 高度可靠

    • 免維護(hù)

    • 可用于嚴(yán)苛制程(C 型)

    • 使用壽命延長

    • 良好的控制器設(shè)計(jì)  

    • 自動(dòng)調(diào)整

    • 自行診斷功能

    • 直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)

    • 無電池運(yùn)行

    • 緊湊型設(shè)計(jì)  

    • 占地面積小

    • 半機(jī)架控制器英國愛德華STP1003 渦輪分子真空泵維修

      技術(shù)數(shù)據(jù)

      入口法蘭ISO200F
      出口KF40
      吹掃口KF10
      抽速 
        N21000 ls-1
        H2800 ls-1
      壓縮比 
        N2>108
        H2>105
      加熱時(shí)的極限壓力(VG/ISO 法蘭)10-7 Pa
       (10-9 Torr)
      加熱時(shí)的極限壓力(ICF 法蘭)10-8 Pa
       (10-10 Torr)
      大連續(xù)出口壓力13 Pa
       (0.1 Torr)
      額定速度35000 rpm
      啟動(dòng)時(shí)間6 分鐘
      高入口法蘭溫度120 °C
      輸入電壓100 至 120 (± 10) V 交流或
       至 240 (± 10) V 交流
      啟動(dòng)時(shí)的功耗0.8 kVA
      泵重量31 kg
      控制器重量9 kg

     蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江常熟鎮(zhèn)江英國愛德華STP1003C、STP1003渦輪分子真空泵維修

    常州揚(yáng)州泰州南通南京啟東海門如皋海門海安英國愛德華STP1003C、STP1003渦輪分子真空泵維修
    如東宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州溫州臺(tái)州衢州英國愛德華STP1003C、STP1003渦輪分子真空泵維修

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