国产乱国产乱老熟300部视频,性生交大片免费看,二区中文字幕,蜜桃视频一区

    歡迎來到昆山熙日機械設備有限公司網站!
    產品展示
      首頁 >>> 產品展示 >>> 愛德華 >>> 真空泵 >>> iH80、iH160、iH600英國愛德華iH晶圓半導體干式真空泵iH80維修
    產品名稱: 英國愛德華iH晶圓半導體干式真空泵iH80維修
    產品時間: 2019-03-24
    產品型號: iH80、iH160、iH600
    產品特點: Edwards 高級半導體真空泵已經過現場應用證明,可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率,同時減小占地面積、降低運行成本,實現了高的可靠性和性能英國愛德華iH晶圓半導體干式真空泵iH80維修

    英國愛德華iH晶圓半導體干式真空泵iH80維修 的詳細介紹

    英國愛德華iH晶圓半導體干式真空泵iH80維修

    概述

    Edwards 高級半導體真空泵已經過現場應用證明,可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率,同時減小占地面積、降低運行成本,實現了高的可靠性和性能。
      
    iH 系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。

    應用

    • 負載鎖
    • 輸送
    • 計量
    • 平版印刷
    • PVD 制程
    • PVD 預清潔
    • RTA
    • 剝離/灰化
    • 刻蝕
    • 植入源
    • HDP CVD
    • RTP
    • SACVD
    • MCVD
    • PECVD
    • LPCVD
    • ALD

     

    功能和優(yōu)勢

    • 優(yōu)化了設施消耗。
    • 無需預防性維護。
    • 懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。
    • 在節(jié)省電機功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩(wěn)定性。
    • 耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
    • 較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
    • 整體式軸桿無需使用電機聯結器,而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,從而降低了總體占地面積。

    技術數據

    峰值速度103 m3h-1
     61 cfm
     1717 l min-1
    極限真空1 x 10-2 mbar
     7.5 x 10-3 Torr
     1 Pa
    典型軸封氮流量4 slm
    進氣口連接ISO63
    出口連接NW40
    15 psi 壓降下典型冷卻水流量120 l h-1
     2 l min-1
    重量240 kg
    極限功率輸入2.7 kW
    電機額定功率3.5 kW
    油容量0.7 l


      
    所有數字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。

    蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江常熟鎮(zhèn)江常州英國edwardsvacuum愛德華iH晶圓半導體干式真空泵、愛德華干式真空泵iH80維修

    揚州泰州南通南京啟東海門如皋海門海安如東宿遷英國edwardsvacuum愛德華iH晶圓半導體干式真空泵、愛德華干式真空泵iH80維修

    徐州合肥蕪湖杭州湖州溫州臺州衢州紹興金華寧波英國edwardsvacuum愛德華iH晶圓半導體干式真空泵、愛德華干式真空泵iH80維修

    余姚福州廈門泉州深圳廣州珠海廣州惠州通州桂林英國edwardsvacuum愛德華iH晶圓半導體干式真空泵、愛德華干式真空泵iH80維修

    南寧南昌贛州武漢成都重慶荊州太原蘭州烏魯木齊英國edwardsvacuum愛德華iH晶圓半導體干式真空泵、愛德華干式真空泵iH80維修

    留言框

    • 產品:

    • 您的單位:

    • 您的姓名:

    • 聯系電話:

    • 常用郵箱:

    • 省份:

    • 詳細地址:

    • 補充說明:

    • 驗證碼:

      請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7

    昆山熙日機械設備有限公司版權所有© 2018