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    產(chǎn)品展示
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    產(chǎn)品名稱: 英國(guó)愛(ài)德華真空分子渦輪泵STP-L301C
    產(chǎn)品時(shí)間: 2019-04-09
    產(chǎn)品型號(hào): STP-L301C
    產(chǎn)品特點(diǎn): Edwards 的防腐蝕 STP-L301(C) 用于電子顯微鏡和半導(dǎo)體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子技術(shù)可實(shí)現(xiàn)的性能,大的制程靈活性。英國(guó)愛(ài)德華真空分子渦輪泵STP-L301C

    英國(guó)愛(ài)德華真空分子渦輪泵STP-L301C 的詳細(xì)介紹

    英國(guó)愛(ài)德華渦輪分子真空泵STP-L301C ISO100 入口

    概述

    Edwards 的防腐蝕 STP-L301(C) 用于電子顯微鏡和半導(dǎo)體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子技術(shù)可實(shí)現(xiàn)的性能,大的制程靈活性。英國(guó)愛(ài)德華真空分子渦輪泵STP-L301C
      

    STP-L301(C) 已經(jīng)由科學(xué)儀器、半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用,并得到了認(rèn)可。英國(guó)愛(ài)德華真空分子渦輪泵STP-L301C

    應(yīng)用

    • 金屬(鋁)、鎢和電介質(zhì)(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)
    • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
    • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
    • 濺射
    • 離子注入源,射束線泵送端點(diǎn)站
    • MBE
    • 擴(kuò)散
    • 光致抗蝕劑脫模
    • 晶體/晶膜生長(zhǎng)
    • 晶片檢查
    • 負(fù)載鎖真空腔
    • 科學(xué)儀器:表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
    • 高能物理:射束線、加速器
    • 放射線應(yīng)用:融合系統(tǒng)、回旋

     

    功能和優(yōu)勢(shì)

    良好的轉(zhuǎn)子技術(shù)  

    • 大的制程靈活性

    • 無(wú)油

    • 低振動(dòng)

    • 高度可靠

    • 免維護(hù)

    良好的控制器設(shè)計(jì)  

    • 自動(dòng)調(diào)整

    • 自行診斷功能

    • 直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)

    • 無(wú)電池運(yùn)行

    緊湊型設(shè)計(jì)  

    • 占地面積小

    • 半機(jī)架控制器

    低振動(dòng)  

    • 內(nèi)置振動(dòng)隔離系統(tǒng)提供了優(yōu)于 STP301C 和外部隔離器的性能。

       

      技術(shù)數(shù)據(jù)

      入口法蘭ISO100,CF100
      出口KF25
      吹掃口KF10
      抽速 
        N2260 ls-1
        H2290 ls-1
      壓縮比 
        N2>108
        He5 x 105
        H22 x 104
      加熱時(shí)的極限壓力(VG/ISO 法蘭)6.5 x 10-6 Pa
       (5 x 10-8 Torr)
      加熱時(shí)的極限壓力(ICF 法蘭)10-8 Pa
       (10-10 Torr)
      大允許進(jìn)氣口壓力(環(huán)境空氣冷卻)6.7 x 10-2 Pa
       (5 x 10-4 Torr)
      大連續(xù)出口壓力(環(huán)境空氣冷卻)13 Pa
       (0.1 Torr)
      額定速度48000 rpm
      啟動(dòng)時(shí)間3 min
      高入口法蘭溫度120 °C
      輸入電壓100 至 120 (± 10) V 交流或
       200 至 240 (± 10) V 交流
      啟動(dòng)時(shí)的功耗0.55 kVA
      泵重量13 kg
      控制器重量7 kg

       蘇州昆山太倉(cāng)無(wú)錫上海張家港吳江常熟英國(guó)愛(ài)德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C

      鎮(zhèn)江常州揚(yáng)州泰州南通南京啟東海門如皋英國(guó)愛(ài)德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C

      海門海安如東宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州英國(guó)愛(ài)德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C

      溫州臺(tái)州衢州紹興金華寧波余姚福州廈門英國(guó)愛(ài)德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C
      泉州深圳廣州珠海廣州惠州通州桂林南寧英國(guó)愛(ài)德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C

      南昌贛州武漢成都重慶荊州太原蘭州英國(guó)愛(ài)德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C

      烏魯木齊石家莊天津長(zhǎng)春吉林濟(jì)南英國(guó)愛(ài)德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C

      青島威海德州連云港昆明九江安慶英國(guó)愛(ài)德華真空分子渦輪泵維修STP-L301C

      一、進(jìn)口真空泵維修:
      1、BOC EDWARDS(愛(ài)德華):GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
      2、ALCATEL(阿爾卡特):ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
      3、LEYBOLD(萊寶):SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
      4、EBARA(易巴拉):A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
      5、KASHIYAMA:MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
      6、ORION(好利旺):KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
      7、BECKER(貝克):U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
      8、RIETSCHLE(里其樂(lè)):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
      9、ULVAC(愛(ài)發(fā)科):GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
      10、VIRIAN(瓦里安):DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
      11、IWATA(巖田)DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
      12、HANBELL(漢鐘)PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

      二、進(jìn)口真空泵配件銷售:
      1、類型:真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過(guò)濾器、轉(zhuǎn)子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控制板等。
      2、品牌:BOC EDWARDS(愛(ài)德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂(lè))、ULVAC(愛(ài)發(fā)科)、VIRIAN(瓦里安)等。

      三、進(jìn)口真空油銷售:
      品牌:FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。

       

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